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磁力齿轮泵在湿法腐蚀清洗设备中的应用


       磁力齿轮泵在湿法腐蚀清洗设备中主要有以下应用:

  (1)药液的循环过滤:由磁力齿轮泵、循环溢流槽、过滤器、管件等组成药液的循环过滤系统。实现药液的循环过滤,保证工艺槽药液温度和浓度的均匀性。由于磁力齿轮泵长时间运行会引起药液一定温升,因此不适用于温控精度较高的工艺槽中。常应用于太阳能电池片酸洗、制绒、清洗等设备中。
  (2)热水注入与喷淋:经过化学液处理后的晶片,有时需要热DI水喷淋冲洗。一般先将DI水注入至预热槽,通过加热器加热到所需供液温度后,再通过磁力齿轮泵加压输送至喷淋装置,实现对晶片的清洗。由于磁力齿轮泵轴承滑动摩擦会产生颗粒,不适用于颗粒要求高的清洗。
  目前经常使用的磁力齿轮泵泵体材料主要有:PP、PVDF、ETFE三种。根据不同的溶液选择相适应的泵体材料、轴承材料以及密封圈材料。PP、PVDF、ETFE三种塑料泵体材质的磁力齿轮泵最高使用温度为80℃,特殊型号最高使用温度为100℃(台湾ASSOMAAMXI系列)。介质的黏度对泵的性能影响很大,当黏度增加时,泵的扬程曲线下降,最佳工况的扬程和流量均随之下降,而功率则随之上升,因而效率降低。对于黏度较大的介质,较小扬程的磁力齿轮泵可能无法工作。用于喷淋冲洗的磁力齿轮泵,在满足流量要求的前提下,选用扬程在20m以上的能达到较佳的清洗效果。